Не работает вакуумирование

Вакуумировали систему после промывки системы сольвентом. После этого вакуумный насос всосал в себя сольвент. Насос промыли, он работает отдельно от станции нормально. Но при запуске программы вакуумации она не начинается (насос работает, но давление не меняется). Как будто не срабатывает соответствующий клапан.